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山东东南仪诚实验室设备有限公司
特点●操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒
模式 | RIE(DP模式选购) |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W385×D362mm |
反应气体 | 2进气系统(氧气、氩气) |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
内腔尺寸 | W395×D378×H45mm(内尺寸) |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
真空泵 | 旋转式真空泵(约500L/min) |
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