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杭州秋籁科技有限公司
椭偏仪
椭偏仪 | |||
SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。其检测原理是:当一束偏振光经过物体表面或界面时,其偏振极化状态会被改变。而椭偏仪就是通过探测样品表面的反射光,来测量此改变(即反射光和入射光的振幅及相位的改变量),以决定表面特性薄膜的光学常数(n、k值)及膜厚。 SpecEL-2000测试系统主要包括:宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、导光器件、起偏器、样品测试台、检偏器、光学增强元件及测量分析软件。 SpecEL-2000适合于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性,通常应用于有薄膜存在的地方,其应用包括光学镀膜和保护膜、聚合物、光刻材料、平面平板显示、计算机读写头以及半导体集成电路制造的研究开发。另外,在生物、医学、化学、电化学及材料研究等方面有着广泛的应用。
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