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日本KOSAKA台阶仪ET200

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更新时间：2022-11-19 15:18:34浏览次数：259次

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上海百贺仪器科技有限公司

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产品简介

日本KOSAKA台阶仪ET200用于测量半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。

详细介绍

日本KOSAKA台阶仪ET200介绍
日本KOSAKA台阶仪ET200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET200配备了各种型探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

日本KOSAKA台阶仪ET200产品特点
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料

日本KOSAKA台阶仪ET200技术参数

型号		ET200
样品尺寸		φ160x48mm
样品台	尺寸	φ160
	倾斜度	±2°（X,Y手动）
	承重	2Kg
检出器	触针力	10μN-500μN（1mg-50mg）
	范围	600μm（0.1nm分辨率）
	驱动	直动式（差动变压器）
	触针	R2μm 顶角60°
X轴	测长	100mm
	直线度	0.02μm/100mm
	速度	0.005-20mm/s
	重复性	±5μm（定位）
Y轴	测长	25mm/手动
Z轴	测长	50mm
放大倍数	垂直	50-2000000
放大倍数	水平	1-10000
监控系统	摄像装置	1/3 inch CCD
	监视装置	视频捕捉板
	移动方法	手动
辅助功能		教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用		成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性		1σ1nm
电源		AC90-240V 50/60Hz 300VA
外观尺寸		W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）