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奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100

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产品型号LEXT OLS4100

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更新时间：2022-12-30 16:22:40浏览次数：486次

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产品简介

江南仪器为您提供奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXTOLS4100的方案介绍：奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXTOLS4100是一款激光扫描显微镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量

详细介绍

江南仪器为您提供奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100的方案介绍：

奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。分辨率达10nm，可以方便快捷地获取影像，同时配备丰富的测量功能。

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。

适用于透明层

多层模式

LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。

观察／测量透明材料的各个层

多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

LEXT 专用物镜

奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100技术规格：

主机
LSM 部分		光源、检出系统	光源：405 nm 半导体激光检出系统：光电倍增管
		总倍率	108x ～ 17,280x
		变焦	光学变焦1x ～ 8x
测量	平面测量	重复性	00x: 3σn-1=0.02 µm
	平面测量	正确性	测量值的±2%以内
	高度测量	方式	物镜转换器上下驱动方式
		行程	10 mm
		内置比例尺	0.8 nm
		移动分辨率	10 nm
		显示分辨率	1 nm
		重复性	50x: σn-1=0.012 μm
		正确性	0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝测量长度μm）
彩色观察部分		光源、检查系统	光源：白色LED，检查系统：1/1.8 英寸200 万像素单片CCD
彩色观察部分		变焦	数码变焦1x ～ 8x
物镜转换器			6 孔电动物镜转换器
微分干涉单元			微分干涉滑片：U-DICR，内置偏振光片单元
物镜			明视场平面半消色差透镜5x、10x LEXT 专用平面复消色差透镜20x、50x、100x
Z 对焦部分行程			100 mm
XY 载物台			100×100 mm（电动载物台），选件: 300×300 mm（电动载物台）

此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。

物镜
型号	倍率	视场	工作距离（WD）	数值孔径（N/A）
MPLFLN5X	108x-864x	2,560-320 μm	20.0 mm	0.15
MPLFLN10X	216x-1,728x	1,280-160 μm	11.0 mm	0.30
MPLAPON20XLEXT	432x-3,456x	640-80 μm	1.0 mm	0.60
MPLAPON50XLEXT	1,080x-8,640x	256-32 μm	0.35 mm	0.95
MPLAPON100XLEXT	2,160x-17,280x	128-16 μm	0.35 mm	0.95