当前位置：上海百贺仪器科技有限公司>>尺寸测量仪器>>KOSAKA探针式轮廓仪ET4000

KOSAKA探针式轮廓仪ET4000

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号ET4000

品牌

厂商性质其他

所在地

在线询价收藏产品查看联系电话

更新时间：2023-05-15 21:18:53浏览次数：142次

联系我时，请告知来自环保在线

产品分类 品牌分类

  尺寸测量仪器

全部产品列表

暂无信息

上海百贺仪器科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：842条

所在地区：

询价 给他留言

产品简介

日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000具有精确性高、稳定性和重复性。

详细介绍

日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000具有精确性高、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不加τ梅较虻男枰峁┝硕嘀挚裳∨渲茫ü∨淙上窀郊鬃盎箍梢约蟮乩┏湟瞧鞯墓δ堋Ⅻbr />
日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000主要特点
1. 具有良的台阶高度重复性5Å (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；
2. 高分辨率，纵轴分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度；
3. 高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；
4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料；

5. 即时监控系统：配置标准CCD，可即时监控量测位置；还可选购Top View CCD，进行高精度定位量测；

6. 可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件，观察样品全貌和测定台阶移动量；

7. 采用天然金刚石(R2μm)作为探头，经久耐用；

日本KOSOKAE探针式轮廓仪T4000产品参数

型号		ET4000M	ET4000A	ET4000L
样品尺寸		300x300mm	210x210mm	300x400mm
样品台	尺寸	320x320mm	220x220mm	540x400mm
	X轴倾斜度	±1mm/150mm(机动倾斜）
	Y轴倾斜度	——	±1mm/150mm(机动倾斜）
	承重	2Kg
检出器	力	0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节
	范围	100μm
	驱动	LVDT直动式（差动变压器）
	触针	ET-1479(R2μm)	ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)
X轴	测长	100mm
	直线度	0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
	速度	0.005-2mm/s(定位速度10mm/s）
	重复性	±5μm（定位）
Y轴	测长	——	150mm	400mm
	直线度	——	5μm/150mm
	重复性	——	±5μm（定位）
Z轴	测长	52mm
放大倍数	垂直	50-2000000
	水平	1-10000
3D		——	可选择
θ轴		——	可选择
辅助功能		教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
监控系统	摄像装置	1/2 inch CCD (768x494像素）
	监视装置	视频捕捉板
应用		成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性		1σ0.5nm
电源		AC100V 800VA
外观尺寸		W660xD580xH660mm 200Kg		W930xD930xH790mm 380Kg