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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品简介:
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需准确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品特点:
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
1.适用于高温:可满足150℃烘焙
2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
3.超清洁类型:接气部全不锈钢构造
4.适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器技术参数:
SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器 | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:80?9?1100℃ |
SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載 | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:100?9?1120℃ |
SEC-8440LSL | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:15?9?135℃ |
SEC-8450LSL | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:15?9?135℃ |
SEC-8455LSL | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 30/50 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:15?9?135℃ |
SEC-8460LSL | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 50/100 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:15?9?135℃ |
SEC-8440LSM | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:35?9?160℃ |
SEC-8450LSM | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:35?9?160℃ |
SEC-8455LSM | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 30/50 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:35?9?160℃ |
SEC-8460LSM | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 50/100 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:35?9?160℃ |
SEC-8440LSH | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:60?9?180℃ |
SEC-8450LSH | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:60?9?180℃ |
SEC-8455LSH | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 30/50 SLM |
流量控制范围 | 2?9?1100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:60?9?180℃ |
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