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LFHS3 3轴纳米位移平台

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品       牌

厂商性质其他

所  在  地长春市

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更新时间:2024-06-03 08:58:41浏览次数:284次

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产品简介

LFHS3运动范围XYZ(m)757550分辨率XYZ(nm)0

详细介绍

 

 

LFHS3

运动范围XYZµm

75

75

50

分辨率XYZnm

0,075

0,075

0,05

典型的噪声基准XYZnm

0,0075

0,0075

0,005

的重复性XYZnm

0,15

0,15

0,1

线性化(典型的)

0,02%

0,02%

0,02%

谐振频率X / Y / Z(赫兹)

3000

2000

1500

刚度 X/Y/Z (N/µm)

4

3

3

负载(kg-水平使用

1

负载(kg-垂直使用

0,5

传感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

140 x 121 x 33,6

材料

Al

电缆长度(m

2

推荐控制器

High Speed

关键词:传感器

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