Quantum Design China(Beijing)
德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于环境如高真空与高辐射环境并且具有精度与采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时......
IDS3010激光干涉仪应用领域
IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于
长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。
IDS3010激光干涉仪产品特点
+ 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成
+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面
+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz
+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度
+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）
+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm
IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口
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