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北京明尼克分析仪器设备中心
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;源气质量流量计可控制到0-100SCCM;2路校准口入口和1路吹扫口;1路稀释气入口,3路输出口和1路排空口;42个按键薄膜键盘;8位数字输入/输出,1路串行输出;彩色大屏显示,
仪器特点:
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;
源气质量流量计可控制到0-100SCCM;
2路校准口入口和1路吹扫口;
1路稀释气入口,3路输出口和1路排空口;
42个按键薄膜键盘;
8位数字输入/输出,1路串行输出;
彩色大屏显示,
性能参数:
稀释入口:1路标准;
源气入口:1路标准,1路吹扫;
稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选);
源气流量:0-100SCCM(0-2SLM可选);
流量精度:<1%FS;
流量重复:<±0.15%FS;
线 性:<±0.5%FS;
入口压力:12-35PSIG;
集成输出:3路输出,1路放空(1路渗透端可选);
操 作:42按键薄膜键盘手动输入或外接键盘;
校准定义:20个工厂配置流路,每个流路可zui大20个线性点;
校准类型:稀释气,臭氧,GPT;
气体定义:1路稀释气,20路源气;
自动校准:可驱动20路定时程序,用户可自定义;
数字输入/输出:可使用触点触发或TTL逻辑控制的8位校准功能;
通 讯:RS232,以太网TCP/IP可选;
温 度:5-40℃;
外形尺寸:156mm(H)×364mm(W)×316 mm (D);重 量:8.6kg;
电 源:98-264VAC,100VA,50/60HZ。
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