等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激发区
本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能， 的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
2：低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术， 诸多机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体， 大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有的能量平衡性，在粒子撞击中失能，所以低温等离子体作为原子激发是 理想的一种能。在实践应用中，较大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体 有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
极板区
根据被处体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。本工艺集三种技术与一体，经山东、江苏、浙江三地多家医药、化工企业的实地测试，原废气的去除率非常理想，根据尼普公司的测试，废气去除率可达84%以上。
电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、极板放电与一体，在实际使用中实现废气的处理是极为复杂的过程，整个过程在不到1秒的时间内完成。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方式的集中放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分断裂，在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量 小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用， 去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。
低温等离子废气净化器简单判断方法
现在，各传媒上宣传低温等离子废气净化的产品和技术很多，可这些产品的宣传大部分都是在炒低温等离子体概念。如何判断是否是 意义上的低温等离子体技术？可以用下面两个简单的规则来判断，即使你不懂低温等离子体技术也能判断出是真是假。
(1) 在废气净化的通道上 充满了低温等离子体。这条规则判断很简单，只要用眼睛观察一下处理通道是否充满紫蓝色的放电就可以直观的了解是否是低温等离子体了（需要注意的是不要将各种颜色的灯光当作电离子体放电）。如果在废气处理的通道上只零星的分布若干的放电点或线，则处理的效果是非常有限的，因为，大部分的(VOCs)气体没有进过低温等离子体处理区域。
(2) 低温等离子体处理系统 要有 的放电处理功率。通常需要在2～5瓦时/米3。即1000米3/时的风量需要处理的电功率为2KW～5KW。如果号称1000米3/时的风量只需要几十或几百瓦的电功率，则多也就是静电(除尘)处理或局部处理而已。要想分解VOCs没有 的能量是不可能的。
低温等离子体废气净化器的安装。
1、输入电源 与净化器所用电源相符，严禁输入电源与净化器所用电源不符，且净化器箱体 接地，以 ；
2、化器进风口 安装变径导风分流管(内设百叶式分流片，每片间距100MM)，使废气平均分布进入低温等离子体净化器的各处理室，提高净化器使用率和处理效果；
3、在安装低温等离子体废气净化器 留有足够空间用来打开净化器的门舱和电控盖，方便维护，检修及清洗；
4、为 ，废气净化器安装在室外， 对净化器的电控电源加盖保护，以防雨水及阳光损坏电控电源而导致发生事故；
5、净化器需拆散搬运安装时， 由 人员根据原有装配规范操作组装，严禁有杂物或砂尘进入内部处理室，并检查内部件是否牢固；
6、选择低温等离子体废气净化器安装位置时，要求与污染源保持5米以上距离，抽风机与净化器保持在6米以上距离较为合适，并加设减振套以防影响净化器工作。
