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Alicat MCS/MCRS 系列耐腐蚀质量流量控制器

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更新时间：2023-02-19 17:26:12浏览次数：310次

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产品简介

采用316L不锈钢结构以抵挡NH3、H2S、SiH4等腐蚀性气体， “主要参数"栏目下方可查看设备预置腐蚀性气体列表，量程范围：0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm

详细介绍

Alicat MS系列质量流量计
采用316L不锈钢结构以抵挡NH3、H2S、SiH4等腐蚀性气体， “主要参数"栏目下方可查看设备预置腐蚀性气体列表，量程范围：0~0.5 sccm 至 0~4000 slpm。
标准精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (选配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度适用于所有预置气体及通过气体编辑器(COMPOSER™)生成的自定义气体
典型质量流量计响应时间常数: 5 毫秒 (超低流量下可能为10毫秒)
多种气体标定: 气体选择(Gas Select™)5.0版预置多达130种常用气体，另内置气体编辑器(COMPOSER™)允许用户自定义混合气体
满量程范围: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常规设备线性范围: 0.5-99% F.S, 量程可调比 200:1
316L结构设备线性范围: 1-99% F.S, 量程可调比 100:1 (MS系列)
**允许管路压力: 145 psig (标准) / 50 psig (MW低压损系列)
常规设备满量程压损: 1-9 psi, 取决于流量范围
“Whisper" 低压损系列(MW)满量程压损: 0.06-0.69 psi, 取决于流量范围
标准通讯方式: RS-232数字通讯和0-5v模拟通讯
选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模拟输出信号可选
选配通讯协议: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通讯接口: 8针mini-DIN
选配通讯接口: 9针或15针D-sub接口, 可定制引脚分配
动态显示质量流量、体积流量、**压力和温度等过程参数
标准显示屏: 2.1″ 单色LCD数字式触摸显示屏
选配显示屏: 2.1″ 背光彩色TFT数字式触摸显示屏
有条件的终身质保
对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感
MS-0.5SCCM-D/5M,GAS:Air，液晶显示，精度1%，0-5V输出，空气（可选则：输出方式与输出参数、报警、气体种类、累积器）
MS-1SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-2SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-5SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-10SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-20SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-50SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-100SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-200SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-500SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-1SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-2SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-5SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-10SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-20SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-50SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-100SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-250SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-500SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-1000SLPM-D/5M,GAS:Air

Alicat MCS/MCRS 耐腐蚀质量流量控制器系列质量流量控制器
采用316L不锈钢结构以抵挡NH3、H2S、SiH4等腐蚀性气体， “主要参数"栏目下方可查看设备预置腐蚀性气体列表，量程范围：0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm
Alicat MS/MCS/MCRS系列适用于腐蚀性气体的质量流量计&质量流量控制器
MS/MCS/MCRS系列–316L不锈钢结构,适用于腐蚀性气体
MCS-0.5SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air，液晶显示，精度1%，0-5V输入输出，空气（可选则：输入输出方式与参数、报警、气体种类、累积器）
MCS-1SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-2SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-5SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-10SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-20SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-50SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-100SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-200SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-500SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-1SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-2SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-5SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-10SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-20SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-50SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-100SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-250SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-500SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-1000SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air