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深圳维尔克斯光电有限公司
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EK-MR，MTM-MR及MT-MR系列搭载SCD数字读取单元，方便用户读取记录数据。德国Marzhauser Wetzlar为用户提供手动测量载物台，适用于透射光/反射光应用及硬度测试，其中MT系列搭载千分尺，多种行程供用户选择，允许用户通过装配适配器及样品架搭载晶圆进行测试。
EK系列，应用于反射/透射光应用的手动测量载物台
德国Marzhauser Wetzlar 为用户提供不同规格的手动测量载物台供用户选择，其中MT系列平台，普遍在透射光应用，反射光应用还有硬度测试上，规格包括25 x 25 mm (1" x 1")和50 x 50 mm (2" x 2")两种行程，底板上有四个孔位（M5，90 × 90 mm），其他孔样式或特殊适配器可根据具体要求提供，可集成在不同显微镜上，的千分尺设计，为用户实现准确测量提供了基础。
EK-MR系列仅包含EK 75 ×50 MR一种规格，该系列时MTM-MR系列测量阶段的有利替代方案，测量长度可达值，该平台搭载德国Marzhauser Wetzlar所开发的磁流变测量系统，以此确保高精度测量，在连接SCD显示装置后可实时读取位置信息。MT-MR系列测量平台无固定搭配显微镜型号，可用于透射光/反射光应用，作为综合测量系统为用户提供选择，该系统允许搭载SCD数字读取单元。
MTM系列特别适用于正置显微镜，当测量长度大于100 mm时，可使用具有的调节旋钮进行粗调或精调操作，用时可以搭配SCD同时使用，用户可以在SCD显示屏上读取位置数据，该系列行程范围包括105 × 105 mm至300 × 300 mm多种选择，其中MTM 105 x 105 MR适用于大部分显微镜型号，包括Leica、Zeiss、Nikon、Olympus品牌，而大行程规格多适用于Olympus立式显微镜。
EK-MR系列手动测量载物台（可配置SCD）
| 描述 | EK 75 × 50 MR |
| 订购型号 | 00-22-321-0000 |
| 行程范围 | 75 × 50 mm |
| 准确性 | ±5 μm |
| 分辨率 | ＜ 0.05 μm |
| 驱动 | X轴：绳索驱动 Y轴：齿条–小齿轮 |
| 重量 | 1.7 kg |
适用显微镜型号：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| DM1000 | Diaphot 200 / 300 | BX40 | Axio Imager |
| DM2000 | E800 | BX41 | Axio Scope.A1 |
| DM2500 | Eclipse 50i | BX41M | Axiophot 1 |
| DM2500 M | Eclipse 55i | BX50 | Axioplan |
| DM2500 P | Eclipse 80i | BX51 | Axioplan 2 |
| DMLA | Eclipse E200 | BX51M | Axioskop |
| DMLB | Eclipse E400 | BX60 | Axioskop 2 MAT |
| DMLM | Eclipse E600 | BX61 | Axioskop 2 MOT |
| DMLS | Eclipse LV100D/LV100DA | BX61 M | Axioskop 20 |
| DMR... | Eclipse LV150, LV150A |
| Axioskop 40 |
| DMRB | ME600 |
| Axiotech 100 |
| DM4 B |
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| Axiotech vario |
| DM4 M |
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| Axiotron |
| DM4 P |
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| Axiotron 2 |
| DM6 M |
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| DM6 B |
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MTM-MR系列手动测量载物台（可配置SCD）
| 描述 | MTM 105 × 105 MR |
| 订购型号 | 00-31-416-0000 |
| 行程范围 | 反射光：105 × 105 mm 透射光：105 × 85 mm |
| 准确性 | ±1 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驱动 | 齿条–小齿轮 |
| 载重 | 2.5 kg |
| 重量 | ~ 4.0 kg |
适用显微镜型号：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| DM1000 | Diaphot 200 / 300 | BX40 | Axio Imager |
| DM2000 | E800 | BX41 | Axioplan |
| DM2500 | Eclipse 50i | BX41M | Axioplan 2 |
| DM2500 M | Eclipse 55i | BX50 | Axioskop |
| DM2500 P | Eclipse 80i | BX51 | Axioskop 2 MAT |
| DMLA | Eclipse E200 | BX51M | Axioskop 2 MOT |
| DMLB | Eclipse E400 | BX60 | Axioskop 20 |
| DMLM | Eclipse E600 | BX61 | Axioskop 40 |
| DMLS | Eclipse LV100D/LV100DA | BX61 M | Axiotech 100 |
| DMR... | Eclipse LV150, LV150A | SZX10 | Stemi 2000 / 2000C |
| DMRB | SMZ1000 | SZX12 |
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| DM4 B | SMZ1500 | SZX16 |
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| DM4 M | SMZ800 | SZX7 |
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| DM4 P |
| SZX9 |
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| DM6 M |
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| DM6 B |
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| MS5 |
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| MZ12.5 |
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| MZ16/MZ16A |
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| MZ7.5 |
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| MZ9.5 |
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MTM-MR系列手动测量载物台（可配置SCD）
| 描述 | MTM 150 × 150 MR | |
| 订购型号 | 00-31-607-0000 | 31-31-607-0000 |
| 行程范围 | 150 × 150 mm (6" × 6") | 150 × 150 mm (6" × 6") |
| 准确性 | ±1 μm | ±1 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm | 0.05 μm |
| 驱动 | 同轴驱动，齿条–小齿轮 | 同轴驱动，齿条–小齿轮 |
| 载重 | 3.0 kg | 3.0 kg |
| 重量 | 4.8 kg | 4.8 kg |
| 适用显微镜型号 | Olympus MX40 Olympus MX50 Olympus MX50L Olympus MX51 Olympus MX51L Olympus MX61 Olympus MX61L | Leica DM4000 M Leica DM6000 M |
MTM-MR系列手动测量载物台（可配置SCD）
| 描述 | MTM 200 x 200 MR |
| 订购型号 | 00-31-807-0000 |
| 行程范围 | 200 × 200 mm (8" × 8") |
| 准确性 | ±1 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驱动 | 同轴驱动，齿条–小齿轮 |
| 载重 | 3.0 kg |
| 重量 | 7.8 kg |
| 适用显微镜型号 | Olympus MX50 Olympus MX50L Olympus MX51L Olympus MX61 Olympus MX61L Olympus MX80 |
MTM-MR系列手动测量载物台（可配置SCD）
| 描述 | MTM 200 x 200 MR |
| 订购型号 | 00-31-012-0000 |
| 行程范围 | 300 × 300 mm (12“ × 12“) |
| 准确性 | ±5 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驱动 | 同轴驱动，齿条–小齿轮 |
| 载重 | 5.0 kg |
| 重量 | 18.6 kg |
| 适用显微镜型号 | Olympus MX50L Olympus MX51L Olympus MX61L Olympus MX80 |
MT-MR系列手动测量平台（可配置SCD）
| 描述 | MT 200 x 100 MR |
| 订购型号 | 00-31-104-0000 |
| 测量范围 | 200 x 100 mm |
| 准确性 | ± 1 μm |
| 分辨率 | 0.1 μm |
| 驱动 | 手动调节 |
| 载重 | 5 kg |
| 重量 | 11.8 kg |
MT系列手动测量载物台（千分尺）
| 描述 | MT 25 x 25 | |
| 订购型号 | 00-30-101-0000 00-30-221-0000 | 00-30-223-0000 |
| 测量范围 | 25 x 25 mm (1" x 1") | 25 x 25 mm (1" x 1") |
| 分辨率 | 由千分尺决定 | 由千分尺决定 |
| 千分尺安装座 | ø12 mm（其他ø要求） | ø12 mm（其他ø要求） |
| 重量 | 1.25 kg | 1.25 kg |
| 承重 | 10 kg | 50kg |
适用显微镜型号：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| MS5 | SMZ1000 | SZX10 | Stemi 2000 / 2000C |
| MZ12.5 | SMZ1500 | SZX12 |
|
| MZ16/MZ16A | SMZ800 | SZX16 |
|
| MZ7.5 |
| SZX7 |
|
| MZ9.5 |
| SZX9 |
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MT系列手动测量载物台 （千分尺）
| 描述 | MT 50 x 50 | |
| 订购型号 | 00-30-102-0000 00-30-222-0000 | 00-30-224-0000 |
| 测量范围 | 50 x 50 mm (2" x 2") | 50 x 50 mm (2" x 2") |
| 分辨率 | 由千分尺决定 | 由千分尺决定 |
| 千分尺安装座 | ø12 mm（其他ø要求） | ø12 mm（其他ø要求） |
| 重量 | 1.25 kg | 1.25 kg |
| 承重 | 10 kg | 50kg |
适用显微镜型号：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| MS5 | SMZ1000 | SZX10 | Stemi 2000 / 2000C |
| MZ12.5 | SMZ1500 | SZX12 |
|
| MZ16/MZ16A | SMZ800 | SZX16 |
|
| MZ7.5 |
| SZX7 |
|
| MZ9.5 |
| SZX9 |
|
千分尺规格
| 范围 | 滚轮直径 | 分辨率 | 订购型号 |
| 25 mm (analog) | 20mm | 10μm | 00-30-000-6801 |
| 25 mm (analog) | 30 mm | 5 μm | 00-30-000-6802 |
| 50 mm (analog) | 20 mm | 10 μm | 00-30-000-6804 |
| 50 mm (analog) | 30 mm | 5 μm | 00-30-000-6805 |
| 25 mm (digital) |
| 1 μm | 00-30-000-6811 |
| 50 mm (digital) |
| 1 μm | 00-99-900-1898* *mounting shaft: 18 mm |
MT-MR系列手动测量载物台（可配置SCD）
| 描述 | MT 50 x 50 MR |
| 订购型号 | 00-30-119-0000 |
| 测量范围 | 50 x 50 mm (2" x 2") |
| 准确性 | （测量长度/40+2.5）μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驱动 | 手动调节 |
| 载重 | 1.4 kg |
| 重量 | 5 kg |
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