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辅光精密仪器（上海）有限公司
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这款大型显微镜位移台是为尼康L200/300系列和奥林巴斯MX51/61系列等大型工业检测显微镜设计的大型电控显微镜样品台
这款大型显微镜位移台是为尼康L200/300系列和奥林巴斯MX51/61系列等大型工业检测显微镜设计的大型电控显微镜样品台。
采用开放式框架设计允许透射光照明,可以配置玻璃板样品架或插入件,也可以配置多种大尺寸的载物台样品架和载物台插件，包括用于半导体检测的真空晶圆吸盘和卡盘。
大型显微镜位移台是直流伺服电机驱动的,也兼容其它精密无空回反冲的齿轮头电机或较大的spur-head电机以获得更高运行速度。该大型显微镜位移台还兼容高精度线性编码器。
大型显微镜位移台特点
1.闭环直流伺服控制用于精准定位和高重复性聚焦；
2.宽的动态范围速度与操纵杆控制；
3.背光液晶显示器显示XY和Z坐标轴；
4.“0”和“Home”按钮用于简单的独立操作；
5.紧凑的符合人体工程学桌面控制尺寸是6”D x 9”W x 3”H；
6.微处理器控制与RS-232串行和USB通信；
7.许多经过验证操作的流行软件包。
大型显微镜位移台可选线性编码器附件
| 轴 | 分辨率 | 比例尺精度 |
| XY | 10 nm | ± 3 μm 每尺寸长度 |
| 丝杆螺距选择 | 旋转编码器分辨率 | 速度 |
| 25.40 mm (Ultra-coarse) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (Super-coarse) | 44 nm | 28 mm/sec |
| 6.35 mm (Standard) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (Fine) | 5.5 nm | 1.75 mm/sec |
| 0.635 mm (Extra-fine) | 2.2 nm | 0.7 mm/sec |
| 丝杆螺距选择 | 旋转编码器分辨率 | 速度 | 可重复性 |
| 1/16″ | 210 nm | 30 mm/sec | 4.5 μm |
| 1/4″ | 0.84μm | 120 mm/sec | 8.0 μm |
| 1/2″ | 1.7 μm | 120 mm/sec | 15.0 μm |
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