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离子溅射仪

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更新时间：2023-11-11 11:34:22浏览次数：116次

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产品简介

离子溅射仪是为电镜制样设计的离子溅射喷金仪，实现离子在样品表面溅射,形成金属薄膜

详细介绍

离子溅射仪是为电镜制样设计的离子溅射喷金仪，实现离子在样品表面溅射,形成金属薄膜。
当需要使用扫描电子显微镜（SEM）分析图像或成分时，由于非导电物体的充电现象会导致图像失真，使正常测量变得困难。由于电子束在非导电样品表面积聚带电粒子，导致图像失真，因此必须进行溅射（涂层）工艺。

离子溅射仪特点

使用7英寸触摸显示屏进行方便的控制
2.真空→ 自动涂层→ 一键式通风口控制
3.库：保存频繁使用条件（zui多10个）
4.样品桩7根（Φ14㎜) 在室内一起安装
5.防止样品被低压涂层损坏（1至10mA）
6.通过紧凑的尺寸zui大限度地减少安装空间

离子溅射仪规格参数

真空度：2.0 x 10-1Torr

离子电流：1-10mA

靶材：纯金或Pt

样品腔尺寸：Φ140mm(D) x 100mm(H)

样品台：Φ50mm(D) x 30mm(H)

靶材尺寸：Φ50mm(D)

溅射时间：1-600秒

真空泵：100L/min

尺寸：Main : 380(W)x240(D)x250(H)mm, 10kg

供电要求：110~220VAC ±10%, 50/60Hz

关键词：离子溅射仪扫描电子显微镜真空泵

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