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SKCC-TFB-X高真空磁控溅射永磁靶头（条形方靶）

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更新时间：2023-06-30 10:59:59浏览次数：64次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

SKCC-TFB-X高真空磁控溅射永磁靶头（条形方靶）

详细介绍

产品简介：SKCC-TFB-X高真空磁控溅射永磁靶头（条形方靶）适用靶材种类较广，如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

产品型号	SKCC-TFB-X（高真空条形方靶）
产品规格	SKCC-TFB-X： X代表方靶的“长X宽”尺寸，例如：方靶尺寸：300X70(mm)，则名称为：SKCC-TFB-300x75 700X90(mm)，SKCC-TFB-700x90 1000X120(mm)，SKCC-TFB-1000x120 方靶尺寸范围：长：220-2000，宽：75-150 单位：mm 其它尺寸可以根据客户要求订制：
主要特点	1、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布； 2、条形方靶采用特殊结构（大型条形方靶经过生产线检验），可保证长期工作； 4、标准的接头，大型与DC匹配,小型既可以与DC电源匹配也可以与RF电源相匹配； 5、安装采用标准真空法兰（CF金属密封或Dg胶圈密封可选）； 6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。
配套电源	1、直流DC；2、射频RF