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SKCC-YCB-X高真空磁控溅射永磁靶头

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更新时间：2023-06-30 11:01:24浏览次数：71次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

SKCC-YCB-X高真空磁控溅射永磁靶头

详细介绍

产品简介：SKCC-YCB-X高真空磁控溅射永磁靶头适用靶材种类较广，如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

产品型号	SKCC-YCB-X（高真空磁控溅射永磁靶头）
产品规格	2寸，SKCC-YCB-2 3寸，SKCC-YCB-3 4寸，SKCC-YCB-4 5寸，SKCC-YCB-5 6寸，SKCC-YCB-6 7寸，SKCC-YCB-7
主要特点	1、采用高质量的不锈钢和永磁材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、的磁性材料冷却装置结构设计，避免冷却水腐蚀磁性材料，延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头，便于操作。 6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。
配套电源	1、直流DC；2、射频RF
备注	如需要折靶则： 2寸折靶，SKCC-YCB-2-Z 3寸折靶，SKCC-YCB-3-Z 4寸折靶，SKCC-YCB-4-Z