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沈阳科晶自动化设备有限公司
HVC-SS高真空腔体
产品简介:HVC-SS高真空腔体用于自行搭建实验真空系统,如等离子溅射、CVD或ALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。
产品型号 | HVC-SS高真空腔体 |
技术参数 | 1、真空腔体:304不锈钢 2、内部尺寸:372mm×420mm×480mm 3、腔门:采用硅胶密封圈密封,直径Ø350mm,且门上设有Ø150mm的玻璃窗口 4、真空度:可达1×10-6torr 5、加热温度:内部加热平台温度可达到150℃ 6、接口:腔体后端有1个KF40接口(用于连接真空泵),顶部有1个1/4NPS(顶板可进行打孔和改造,以便于 安装各种接口和接头,可在本司购买快速真空接头) |
产品规格 | |
可选配件 | 1、防腐型数字式真空计(进口,不需因测量气体种类不同而需要系数转换) 2、分子泵系统 3、快速真空接头
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