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沈阳科晶自动化设备有限公司
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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪
产品简介：GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟，每个加热舟都可独立进行蒸镀，加热舟上方有一个可旋转挡板，当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住，以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极，在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化，进而损坏电极。该机采用金属腔室，具有的真空度，真空度可达到5.0×10-7torr，样品台可对样品进行加热，加热温度为室温-500℃，是进行高真空蒸发镀膜的设备。
| 产品名称 | GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪 |
| 产品型号 | GSL-1800X-ZF4 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、工作台：落地式，占地面积2m2以上。 4、通风装置：需要 |
| 主要特点 | 1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。 2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。 3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，提高效率）、1个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、6个CF35法兰（1个安装电离规，1个安装2芯电极，1个安装膜厚仪） 4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。 5、样品台安装在腔体的顶部。 6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，膜厚测量分辨率（铝）为0.1Å。 7、可使用循环水冷机。 |
| 技术参数 | 1、输入：单相AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵） 2、蒸发输出：电压AC 0-8V连续可调，极限蒸发电流200A，极限蒸发功率<1.6KW 3、真空腔：Ø300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理 4、观察窗：Ø100mm，采用专用密封圈密封 5、真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s 6、真空度：8.0x10-4Pa 7、极限真空8.0x10-5Pa 8、漏率：6.7×10-8Pa·L/S 9、样品台：φ120 10、蒸发舟与样品台间距：140-200mm 11、冷却水需量：15L/min |
| 产品规格 | 尺寸：900mm×1100mm×1800mm；重量：230kg |
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