SYDC-100H控温型浸渍提拉镀膜机 垂直提拉机 提拉涂膜机 Dip Coater
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沈阳科晶自动化设备有限公司
高真空单室热蒸发系统
产品简介:高真空单室热蒸发系统用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、 半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。广泛应用 于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
产品型号 | 高真空单室热蒸发系统 |
主要特点 | 系统主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、上盖液压开启机构、电控系统组成。 |
技术参数 | 1、极限真空度5×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 Pa(短时间暴露 大气并充干燥氮气后开始抽气) |
标准配件 |
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可选配件 |
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