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深圳市科晶智达科技有限公司


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SP-MSM-4CZ 4电弧提拉法单晶生长炉

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更新时间:2022-12-04 15:43:02浏览次数:284次

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产品简介

SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃

详细介绍

SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

性能指标和基本配置
腔体

● 采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水
● 腔体上安装有石英窗口,以便观察样品
● 腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵)
● 腔体尺寸:Φ257*360mm
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真空计

腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表
1

电弧枪

● 共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水)
● 钨电极直径为Φ4mm
● 电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节
● 起弧电源: 18 V / 185 A 电压380V
● 熔炼温度可达3000℃
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样品台

● 采用水冷铜坩埚
● 可投如样品量为60g(按铁计算)

提拉机构

● 控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速
● 提拉速度:0.2-10mm/h
● 提拉行程:0-70mm
● 转速:0-40RPM

控制单元

可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速)

真空泵

● 设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵)
● 抽气速率:100L/S
● 可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)
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循环水冷机

● 功率:800W
● 水流速度:58L/min
● 制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
● 温度控制:5~30 °C

设备尺寸

800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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