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单靶等离子溅射仪

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厂商性质其他

所  在  地北京市

更新时间:2023-07-08 17:39:40浏览次数:88次

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产品简介

单靶等离子溅射仪

详细介绍

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产品名称: 单靶等离子溅射仪
仪器型号: BO.28-1100X-SPC-16
产地: 国产
关键字: 单靶等离子溅射仪
产品描述

产品简介:

 单靶等离子溅射仪是一种已经通过CE认证的紧凑型等离子溅射仪。用于金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜。样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300埃。特别适用于SEM样品的镀膜。本品包括真空泵和预置一个金靶。

主要特点:

单靶等离子溅射仪主要特点如下:

1配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;
2. 
溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体
3. 
特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边"现象;
4. 
陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用;
5. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。

 

技术参数:

 单靶等离子溅射仪主要技术参数:

1、输入电源:220V,总功率小于2000W(包括真空泵)

2、样品室尺寸:直径160mm,高度120mm;

3、样品台:直径50mm,可以同时给8SEM样品镀膜,样品台高度可调。均匀镀膜区域为直径45mm;

4、气氛控制:针阀控制气体流量,已取得更好的镀层效果;

5、外形尺寸:长400mmx300mmx400mm;

6、净重:约30公斤;

7、保质期和证书:1年保质期及CE认证证书。

 

产品规格:

 

标准配件:

 

可选配件:

金、铟、银、铂等各种靶材

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