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KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷检测设备

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更新时间：2022-10-30 14:33:32浏览次数：87次

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新耕（上海）贸易有限公司

经营模式：其他

商铺产品：10条

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产品简介

KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷检测设备

详细介绍

主要产品与服务

◆综合解决方案：EFEM、Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)、Codex、Sorter、Storker、450mm Wafer Handling System；

◆工具自动化：大气机器人、真空机器人、装载埠模块（FOUP和OCA）、对准和标定、末端执行器；

◆软件解决方案：Genmark集成框架和技术（GIFT™）是用于快速开发设备自动化应用的一套软件组件，工具和技术。支持Windows NT，2000，XP；SEMI标准： E4, E5, E30, E37, E40, E42, E58, E84, E87, E90, E94, E95, E98, E99, E109, E116, E118

◆工程服务：协助OEM客户，定制材料输送解决方案的设计与实施。

◆运动控制：控制多功能机器人结构，包括“偏转”，“节距”和“滚动”的运动功能；多个轴的同步；末端执行器框架的倾斜功能；紧急停止，等其他功能。

◆售后服务：Stock Parts、Repair、Refurbishment、Exchange、Site troubleshooting、Local service engineer,etc.

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