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上海淞涵精密设备科技有限公司
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D07-19B型质量流量控制器★高精度，快响应型★橡胶密封、模拟电路的MFC★采用DB15型电插头，国际标准机械接头★国际兼容用途:质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制
D07-19B型质量流量控制器 ★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
详细参数
标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度………………0℃（273.15K） 标准压强………………101325Pa 输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA 输入设定电压…………0～+5.00V 输出电压检测…………0～+5.00V 产品技术指标
输入和输出:
满量程流量范围（N2) 5SCCM～30SLM 控制范围 2～100％F.S. 阀类型（阀初始状态） 电磁调节阀（常闭）
准确度 ≤10SLM ±1％F.S. ＞10SLM ±2％F.S.
线性 ≤10SLM ±0.5～1％F.S. ＞10SLM ±2％F.S. 重复精度 ±0.2％F.S. 响应时间 ≤4sec 工作温度范围 5～45℃
工作压差 ≤10SLM 0.1～0.5MPa ＞10SLM 0.1～0.3MPa 耐压 3MPa 漏气率 1×10-9SCCSHe 密封材料 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm 电插头形式 DB15 pin(Male) 抗电磁干扰 CE 重量 2.6kg
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