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激光干涉仪

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更新时间：2023-04-21 15:16:58浏览次数：430次

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深圳市中图仪器股份有限公司

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产品简介

简介激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一，是工业中具的长度测量仪器

详细介绍

简介
激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一，是工业中具的长度测量仪器。它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的在线在位测量、误差修正和控制。激光干涉仪采用外差干涉测量原理，克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题，具有信号噪声小、抗环境干扰、允许光源多通道复用等诸多优点，使得干涉测长技术能真正用于实际生产。

工作原理
1、激光从激光干涉仪出来在分光镜处分为两束，一束为参考光由固定角锥反射镜反射，另一束为测量光由移动反射镜反射，并与参考光合束，产生干涉；
2、通过干涉环的增减来判断移动的角锥反射镜移动的距离。

产品功能
中图SJ6000激光干涉仪可以对机床进行静态测量和动态测量。静态测量可以进行线性，角度，平面度，直线度和垂直度等测量；动态测量可以进行速度、加速度分析，振动分析等。

系统性能
²  测量方式：单频
²  稳频精度：0.05ppm
²  动态采集频率：50 kHz
²  预热时间：5-10分钟
²  工作温度范围：0~40℃
²  环境温度范围：0~40℃
²  存储温度范围：-20℃~70℃

环境补偿示值误差
²  空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
²  材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
²  空气湿度传感器：±6% (0-95%)
²  大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

关键词：激光干涉仪长度测量仪温度传感器传感器压力传感器