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快速退火炉

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产品型号RTP1100

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更新时间：2022-09-01 16:45:18浏览次数：231次

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河南成仪实验室设备有限公司

经营模式：其他

商铺产品：49条

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产品简介

型号：RTP1100用途：极速退火与镀膜规格：Φ100*200特点：快速升温快速降温

详细介绍

快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鉴了制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成，不但拥有极快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温！

腔体采用了双层石英管结构，外层管进气，内层管出气，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。

加热灯管之所以能够让硅片快速升温，是因为光源波长在0.3-4微米之间，石英管壁无法有效吸收这一波段的辐射，而晶片则正好相反。因此，晶片可以吸收辐射能量快速加热，而此时石英管壁仍维持低温，即所谓冷壁工艺。

应用领域：

Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火

Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长

Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 扩散 (Diffusion);

Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

主要特点：

Ø 极速升温100℃/S，极速降温100℃/S；

Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；

Ø 直接测量样品表面温度，测温更精准；

Ø 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用；

Ø 真空度可达9.8×10-4Pa；

技术参数：

主要技术指标	数据
产品型号	RTP1100
极限温度	1200℃
额定温度	1100℃
控温精度	±1℃
温场均匀性	±2℃
升温速率	100℃/S
降温速率	100℃/S
操控系统	智能模糊控制
操作界面	7英寸触摸屏
加热方式	短波红外线加热
加热腔体结构	双层管
气体流动方式	外管进气，内管出气
扩充端口	可扩充真空测控和FFC供气
过载保护	电流过大自动切断主回路
超温保护	温度出现过高时切断主回路
传感器类型	S型单铂铑
反应腔室尺寸	Φ100*200mm
式样有效空间	3.5英寸
传感器类型	9.8×10-4Pa
抽气端口尺寸	KF16（或Φ8mm宝塔嘴）
供气口尺寸	Φ6.35mm双卡套（或Φ8mm宝塔嘴）
样品冷却方式	风冷
法兰冷却方式	水冷
功率	15KW
额定电压	AC 380V，50Hz
外形净尺寸	950500560
重量	约55KG