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郑州科佳电炉有限公司
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RTP管式炉
产品介绍：
该炉是一款能够快速升温和降温的管式炉，其通过红外灯管加热达到快速升温的效果（升温速率> 50°C/S），通过炉体滑动来达到快速冷却效果。
应用范围：
退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉， 是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计，采用红外灯管加热，升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制，精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
技术参数：
| 炉体结构 | 双层风冷 |
| 温度控制 | PID30段程序化控制，并带有过热和断偶保护 |
| 升温速率 | 50℃/s |
| 温度 | 1100℃；连续工作温度：950℃（可达1小时）； |
| 热电偶 | K型热电偶测量样品处温度； |
| 管外径 | 100 mm |
| 加热区长 | 200mm |
| 加热元件 | 红外灯管 |
| 炉管材质 | 高纯石英管 |
| 可快冷样品 | 可强迫风冷；吹N2或压缩空气。 |
| 滑动范围 | 可通过温控仪表自动控制 ，当温度程序运行完过后，炉体将按照设定速度从右端滑到左端 |
| 真空系统（选配） | 旋片泵、扩散泵机组、分子泵机组 |
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