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郑州科佳电炉有限公司
KJ-1200T-S6015LK1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr
KJ-1200T-S6015LK1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率可达100°C/m。为取得加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。
可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉, 是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计,采用红外灯管加热,升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
可在真空不同气氛空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
产品名称 | 单管滑动式快速退火炉 |
产品型号 | KJ-1200T-S6015LK1-H |
炉管尺寸 | Φ60mmX1500mm |
温区长度 | 440mm(更多规格可按照客户要求定制) |
恒温区长 | 260mm |
工作温度 | 1100℃ |
温度 | 1200℃ |
温控系统 | 30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示) |
控温精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
加热速率 | 0~20℃/分 |
加热元件 | 合金加热丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
功率 | 3KW |
气 密 性 | 4.03×10-3Pa |
炉膛材料 | 采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
滑轨尺寸 | 镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm |
法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。 |
炉 管 | 可选气炼石英炉管、刚玉炉管 |
测温元件 | K型热电偶测温 |
炉壳温度 | ≤45℃ |
净 重 | 80KG |
提供相关配件 | 气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、炉塞、说明是等其他配件用户可选配 |
可选配件 | 热电偶、刚玉坩埚 |
电气认证 | CE认证 |
售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
标准配件:
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气炼石英炉管×1 | 真空法兰×1 | O型胶圈×4 |
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高温手套×1 | 坩埚钩×1 | 热电偶×1 |
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内六方扳手×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
1.实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2.工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线,保存于触摸屏内,带密码保护功能,可一次性编制多条曲线。
3.具备断电记忆功能,查询已完成的工艺阶段。
4.现场操作人员需要调用某条温控曲线时,直接输入曲线序列号即可调用该条曲线,简单方便,杜绝错误发生。
5.具备多组历史数据记录功能。
6.具备同时显示多段温度及时间功能。
1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。
2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。
4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。
5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。。
该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计,大幅度降低泵的表面温升;采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油,更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封,确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计,零部件少,重复性好,外形紧凑,便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油,即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计,有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染;该产品还设计有两档气镇,可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。
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