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郑州科佳电炉有限公司
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产品特点：1、控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单
产品特点：
1、 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2、 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵
防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。
产品用途：
此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。
产品详情：
| 名称 | 高温三温区CVD设备 | |
| 型号 | KJ-OTF-1700-F5 | |
| 加热系统 | 显示 | LED |
| 温度 | 1700℃ | |
| 工作温度 | ≤1600℃ | |
| 升温速率 | 0~15℃/min | |
| 温区 | 3 | |
| 温区长度 | 220mm | |
| 加热元件 | MoSi2 棒 | |
| 热电偶 | B型 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 管尺寸 | 80 x 1400mm | |
| 材质：氧化铝 | ||
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 温控方式 | 30段可编程 | |
| 真空计 | 复合真空计 | |
| 真空法兰 | 带阀门和针头的不锈钢真空法兰 | |
| 电压/功率 | 220V, 50 Hz, 10KW | |
| 真空泵系统 | 真空泵组 （旋片泵+扩散泵） 包括 KF25、KF50 适配器、真空泵组波纹管和带轮移动柜。 | 冷态极限真空6.67*10-3Pa。 |
| 质量流量计（5气路） | 流量范围 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
| 准确性 | ±1.5 % F.S. | |
| 重复精度 | ±1.5 % F.S. | |
| 响应时间 | ≦10sec | |
| 工作压差范围 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐压性 | 3MPa | |
| 温度系数 | 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃ | |
| 工作环境温度 | 5~45℃ | |
| 输入信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
| 输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
| 电插头形式 | DB15针（母） | |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
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