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郑州科佳电炉有限公司
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产品特点：1、可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺2、采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化
产品特点：
1、可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺
2、采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；
3、具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；
4、具有多种工艺管路，可供用户方便选择；
5、具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；
6、恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；
7、具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能；
8、可根据用户要求定制产品。
应用范围：
本设备为科研型扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
产品参数：
| 产品名称 | 科研型扩散氧化炉 |
| 产品型号 | KJ-T1300-LZ-10KS |
| 工作温度 | 1300℃ |
| 应用晶片尺寸 | 2~8英寸圆片 |
| 可配工艺管数量 | 1~2管/台 |
| 恒温区长度 | 300~600mm |
| 恒温区精度 | ≤±0.5℃ |
| 温度稳定性 | ≤±0.5℃/24h |
| 温度斜变能力 | 升温速率10℃/min，降温速率5℃/min |
| 预警 | 具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能 |
| 更多规格可根据要求来定制 | |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
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