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郑州成越科学仪器有限公司
简单介绍: 净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此净化型匀胶机进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶;是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。
净化型匀胶机特点:
1、带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止
匀胶过程中的杂质污染。
2、 设置有LED照明灯,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可设置时间--转速曲线,程序控制匀胶工艺
4、7英寸液晶显示屏,操作简单易学无需专业学习
5、采用无刷伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
6、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、生锈,便于清洗。
7、排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
8、透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出有效
隔绝有毒气味的散发。
9、前面板设置有电动玻璃屏升降按钮,可电动升降前挡玻璃板。
主要技术参数:
匀胶时间:1-99秒
匀胶转数:0-8000转/分
净化效果:100级(美国联邦标准)
操作区风速:0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流()
适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶
外形尺寸:左右宽800mm;上下高1700mm;前后深680mm
壳体颜色:亚白色
控制范围和精度:转速控制范围为:500-8000转,精度为±3%
时间控制范围为:1-99秒,精度为±5%
转速调整:采用PID调节,精度高。
转速查看智能化:可自动识别哪个电机开或关,自动转换到开启的电机上。可予先选定,也可在运行中随时查看任一电机的转速。
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