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武汉市艾德宝仪器设备有限公司
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简要描述： 日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000日本日立HITACHI超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 的详细介绍 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2 采用电子束在Fla
日本日立HITACHI超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 的详细介绍
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的佳性能
与现有机型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是专门为电子束敏感样品和需300万倍稳定观察的半导体器件，高分辨成像所设计。
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4nm / 30kV（SE）
1.2nm / 1kV（SE）
0.34nm / 30kV（STEM）
用改良的高真空性能和的电子束稳定性来实现率截面观察。
采用设计的Super E x B能量过滤技术，，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
更新时间：2022/11/10 9:10:55
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