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武汉茂迪科技有限公司
主机型号OLS5000-SAFOLS5000-SMFOLS5000-LAFOLS5000-EAFOLS5000-EMF总倍率54x-17
型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
总倍率 | 54x - 17,280x | |||||
视场直径 | 16um - 5,120um | |||||
帧率(激光观察 )[fps] | 3.25 / 55.6 | |||||
帧率 (彩色观察) [FPS] | 30 | |||||
测量原理 | 光学系统 | 反射式共焦激光扫描激光显微镜 | ||||
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 | ||||||
彩色 | ||||||
彩色-DIC | ||||||
光接收元件 | 激光:光电倍增管(2ch)彩色:CMOS彩色相机 | |||||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5纳米 | ||||
光栅尺 | 0.78纳米 | |||||
动态范围 | 16位 | |||||
可重复性σ *1 *2 *5 n-1 | 5X:0.45μm, 10X:0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm | |||||
正确性 *1 *3 *5 | 0.15+L/100微米(L:测量值[毫米]) | |||||
拼接图像正确性 *1 *3 *5 | 10X:5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm (L: 测量长度[μm]) | |||||
测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *5 | 1纳米 | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1纳米 | ||||
可重复性 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X:0.4μm, 10X:0.2μm, 20X:0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm | |||||
精度 *1 *3 *5 | 测量值+/- 1.5% | |||||
拼接图像精度 *1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm]) | |||||
单次测量时测量点的数量 | 4096 x 4096像素 | |||||
测量点的数量 | 3600万像素 | |||||
XY载物台配置 | 长度测量模块 | ? | 不适用 | 不适用 | ? | 不适用 |
工作范围 | 100×100毫米电动 | 100×100毫米手动 | 300 X300毫米电动 | 100×100毫米电动 | 100×100毫米手动 | |
样品高度 | 100毫米 | 40毫米 | 37毫米 | 210 毫米 | 150毫米 | |
激光光源 | 波长 | 405纳米 | ||||
输出 | 0.95毫瓦 | |||||
激光分类 | 2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014) | |||||
彩色光源 | 白光LED | |||||
电气功率 | 240瓦 | 240瓦 | 278瓦 | 240瓦 | 240瓦 | |
质量 | 显微镜主体 | 约31公斤 | 约32公斤 | 约50公斤 | 约43公斤 | 约44公斤 |
控制箱 | 约12公斤 |
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证(温度:20?C±1?C, 湿度:50%±1%)。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物镜测量时超过20次。
* 3 在使用LEXT专用物镜测量时。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物镜测量时的典型值。
* 5 基于奥林巴斯认证体系保证。
系列 | 型号 | 数值孔径(NA) | 工作距离(WD)(毫米) |
UIS2物镜 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
LEXT专用物镜(10X) | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
LEXT专用物镜(高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
LEXT专用物镜(长工作距离型) | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
超长工作距离物镜 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
适用于LCD透镜的长工作距离 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
标准软件 | OLS50-BSW | 数据采集app 分析app (简单分析) |
电动载物台套装应用*1 | OLS50-S-MSP | |
扩展分析应用*2 | OLS50-S-AA | |
薄膜厚度测量 | OLS50-S-FT | |
自动边缘测量应用 | OLS50-S-ED | |
颗粒物分析应用 | OLS50-S-PA | |
多文件分析应用 | OLS50-S-MA | |
球体/圆柱体表面角度分析应用 | OLS50-S-SA |
* 1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
* 2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
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