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德国 Raith 电子束光刻机

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产品型号Pioneer Two

品牌

厂商性质其他

所在地武汉市

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更新时间：2024-04-26 15:31:07浏览次数：95次

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武汉茂迪科技有限公司

经营模式：其他

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产品简介

德国RaithPioneerTwo电子束光刻机：1.系统适用于2"及以下的样片，采用热场发射电子枪，加速电压为20V~30kV

详细介绍

德国 Raith Pioneer Two 电子束光刻机：

1.系统适用于2"及以下的样片，采用热场发射电子枪，加速电压为20V~30kV。可实现高分辨电子束曝光，最小验收线宽≤8nm。
2.系统中集成了高精度的激光干涉工作台，运动行程为50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm，可以实现精确的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。
3.系统兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中的热场电镜类似，放大倍数为20x ~1,000,000x。
4.另外，除了标准配置, 客户还可以增加一些选配件，如选配背散射探测器、能谱仪等，进行材料分析；选配工作台旋转倾斜模块，实现不同角度的材料成像等。如果选择相应的选配件，请增加相应的价格。

关键词：工作台能谱仪

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