污水处理设备 污泥处理设备 水处理过滤器 软化水设备/除盐设备 纯净水设备 消毒设备|加药设备 供水/储水/集水/排水/辅助 水处理膜 过滤器滤芯 水处理滤料 水处理剂 水处理填料
维克特锐（北京）科技有限公司
维克特锐（北京）科技有限公司
该系统既可用作传统的化学气相沉积设备，又可用作微波能化学气相沉积设备，同时又是微波等离子化学气相沉积设备
| 型号/model | WBDQC-4 | |
| 可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 | |
| 微波频率 | 2.45GHZ±50MHz | |
| 加热方式 | 等离子加热、纯微波加热、传统电加热、混合加热 | |
| 功率/ KW(连续、可调) | 4 | |
| 样品腔长度 | 标配100mm可根据用户需求订制 | |
| 加热样品腔(材质) | 石英管（微波等离子工作模式） | 石英管&刚玉管（其它加热方式） |
| 控温范围/℃ | 1100℃石英样品腔直径：Φ45mm、Φ60mm、Φ100 mm 可选； | 1500℃刚玉样品腔直径：Φ45mm、Φ60mm 可选； |
| 温度测试元件 | 微波场专用传感器 | |
| 温度分辨率/℃ | 0.1 | |
| 样品台温度范围 | 室温-1200℃、更高温度可选配 | |
| 控温精度/℃ | 1200℃以下±1；1200℃以上±2℃ | |
| 温度偏差/℃ | ||
| 温度稳定波动度/℃ | ||
| 冷却方式 | 风冷 | |
| 恒温区长度/mm | 标配100mm可根据用户需求订制 | |
| 升温速率(标配) | 0～200℃/min（微波等离子工作模式除外） 任意设定，可编程、分段加热 | |
| 温度控制方式 | 10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示 | |
| 控制气体 | 控制气体：H2、CH4、Ar、N 2 、其它气体可选 | |
| 流量控制 | 标配 2 套质量流量控制器：七星华创（真空保护阀门后置，匹配真空模式）；精度：0.8% | |
| 耐压 | 1MPa；控制响应时间：10ms | |
| 真空系统真空泵 | RVP2008；压力范围：10 -3 Torr~760 Torr 抽速：8.5m 3 /h | |
| 真空计 | 数显真空计：1atm-10 -1 Pa | |
| 标配 | 质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件，可以内置实时显示和保存生长参数 | |
| 气路其他配置 | 气柜、气路及阀门等 | |
| 端口 | 不锈钢 KF50 法兰接口 | |
| 电源电压（V） | 220 | |
| 微波泄漏量/ mW/㎝2 | ≤0.4 | |
| 外型尺寸（长´宽´高）/mm | 1100×750×1900 | |
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
环保在线 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
