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XP-703D微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、、硅烷、氢气、

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产品简介

XP-703D微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、、硅烷、氢气、

详细介绍

XP-703D 特长
	适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。
	通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏。

规格

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(砷化三氢、、硅烷等)

检测原理

热线型半导体式

能检测的泄漏量

能检测的浓度

	砷化三氢
	AsH3
	1.0×10^-7
	0.2


	PH3
	1.5×10^-7
	0.3



	0.5×10^-7
	0.1

	硅烷
	SiH4
	2.5×10^-7
	0.5

	氢气
	H2
	5×10^-7 Pa?m3 /s
	1.0 ppm

应答时间

10 秒

检测表示

蜂鸣器发出断续音且警报灯闪烁

电源 ※1

5号锰干电池4节

电池使用时间

使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时)

使用温度范围

0℃～ 40℃

外形尺寸

W68×H155×D32㎜

重量

约 400g

附件

皮套、排放过滤器、过滤片、检查气体、标准附属品、5号锰干电池4本

另售的选购件

Ni-Cd 电池专用充电器、耳机

关键词：电池



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