当前位置：长沙沛钰进出品贸易有限公司>>CVD系统>>小型PECVD管式炉系统

小型PECVD管式炉系统

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地

在线询价收藏产品查看联系电话

更新时间：2023-02-28 09:32:28浏览次数：97次

联系我时，请告知来自环保在线

产品分类 品牌分类

  CVD系统

全部产品列表

暂无信息

长沙沛钰进出品贸易有限公司

经营模式：其他

商铺产品：487条

所在地区：

联系人：长沙市岳麓区天马路科教新村5区三栋304（大学城办事处)

询价 给他留言

产品简介

产品详情型号：OTF-1200X-50S-PE产品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统（PECVD）

详细介绍

产品详情

型号：OTF-1200X-50S-PE

产品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统（PECVD）。该设备配有等离子射频电源，开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统，且设备性价较为理想。

免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅用于宣传用途，仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您谅解。如果您需要下载产品的电子版技术文档，说明书（在线阅览），装箱单，与售后安装条件等文件，请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户，购买前请与工作人员沟通，以免给您带来不便。

技术参数实验案例警示/应用提示配件详情

设备名称

小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE

产品提示

1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

▪ 整套设备尺寸小巧；

▪ 可通过工艺调节来控制化学计量；

▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。

加热炉参数

▪ 温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃；

▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。

图片1.jpg 温控仪表.JPG

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调（稳定性：±1%）	0-500W可调（稳定性：±1%）	0-100W可调（稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片