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长沙沛钰进出品贸易有限公司


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1700°C二通道混气高

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厂商性质其他

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更新时间:2023-02-28 09:50:45浏览次数:91次

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联系人:长沙市岳麓区天马路科教新村5区三栋304(大学城办事处)

产品简介

产品详情型号:GSL-1700X-HVC产品概述:GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其工作温度可达1600℃,极限真空度可达to10^-5torr

详细介绍

产品详情

型号:GSL-1700X-HVC

产品概述:GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
GSL-1700X 系列管式炉

壳体

· 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

· 保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,减少热量的损失

· 真空泵和气体混合系统位于移动架上,方便移动.

仪器上已经安装高真空法兰,阀门,高真空机组

炉管

· 材质高纯氧化铝陶瓷管

· 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

· (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L

(选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

6KW

工作电压

 AC 208-240V单相, 50/60Hz

加热元件

1800°C grade MoSi2 heating element

工作温度

· 工作温度.: 1650°C(<2h)(更新时间:19.12.10--JS2)

连续工作温度.: 1600°C

升温速率

≤5°C/min

加热区长度

加热区长度: 457 mm (18")

温控系统

· 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序

· 控温精度: ±1°C                   

· 控温仪表操作视频

热电偶: B 型,已经安装在炉内

真空法兰

· 一对不锈钢真空密封法兰已经安装

· 法兰上带有一机械压力表

· 两个精密针阀

· 一个KF-25连接器 KF-25  KF-40 抽气接口

一个1/4"卡套接头

外形尺寸

550 x 380 x 520mm


高真空机组

功率

100~110W

工作电压

AC 208-240V单相, 50/60Hz

外形尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

壳体

· 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

· 承载量:       600 Lbs on top

· 分子泵控制面板:   LCD 数字显示

内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

· 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 

· 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

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抽气速率

· N2     33 L/s

·  He     39 L/s   (2340L/minute)

H2   32 L/s

工作范围

 1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

<1E-8 mbar (without any leaking )


质量流量控制器

壳体

· 采用 316不锈钢制作

· 混气箱尺寸: Φ80x120mm  

· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

MFC控制面板 (Click to enlarge)可根据客户要求定制

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功率

18W

工作电压

AC 208-240V, 单相, 50/60Hz


质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件


质量认证

· CE  

· 所有电器元件(>24V)都通过了UL/MET/CSA认证

· 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

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