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巨力光电（北京）科技有限公司
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原位薄膜应力仪
产品介绍：
原位薄膜应力测量系统(kSA MOS Film Stress Measurement System)：系统采用非接触MOS激光阵列技术；不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行实时原位测量，而且还可二维应力Mapping 成像统计分析，同时可精确测量应力、曲率随温度变化的关系。
典型用户：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大学，中国计量等、半导体和微电子制造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等；
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薄膜应力仪（kSA MOS 薄膜应力测量仪）：为独立测量系统，同样采用多光束MOS技术，详细信息请与我们联系。
设备名称：
原位薄膜应力测量系统，原位薄膜应力测试仪，原位薄膜应力计，薄膜应力仪，kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System;
主要特点：
1.MOS 多光束传感器技术；
2.单Port(样品正上方)和双Port(对称窗口)系统设计；
3.适合MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸収系统等各种真空薄膜沉积系统以及热处理设备等；
4.薄膜应力各向异性测试和分析功能；
5.生长速率和薄膜厚度测量；（选件）
6.光学常数n&k 测量；（选件）
7.多基片测量功能；（选件）
8.基片旋转追踪测量功能；（选件）
9.实时光学反馈控制技术，系统安装时可设置多个测试点；
10.专业设计免除了测量丌受真空系统振动影响；
测试功能：
1. 实时原位薄膜应力测量
2.实时原位薄膜曲率测量
3.实时原位应力*薄膜厚度曲线测量
4.实时原位薄膜生长全过程应力监控等
实际应用：
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