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显微激光测振仪

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更新时间：2024-02-15 14:52:47浏览次数：424次

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显微激光测振仪

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苏州欧米特光电科技有限公司

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产品简介

显微激光测振仪，是一款全新的集多功能于一身的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化显微测量分析的理想工具。显微激光测振仪它可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以**测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）等信息。

详细介绍

显微激光测振仪

显微激光测振仪特点：

非接触测量，无负载；

激光光斑极小，微米级；

*的带宽和动态范围；

高空间分辨率；

工作距离可选；

高灵活性、易安装、易操作；

振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高

配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置。

显微激光测振仪扩展功能：

利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性(可定制)

通过白光干涉测量物体形貌特性(可定制)

显微激光测振仪应用领域：

微机电系统（MEMS）动态测试

生命科学、医学、动物学研究，如昆虫等生物的活体的振动特性测量

计算机外设的动态测试：硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等；

超声振动测量

压电陶瓷振动测量

弦线/丝线振动特性测量

微型陀螺仪振动测量

显微激光测振仪技术参数
工作温度	3℃ - 45℃
工作湿度	<90%
电源	220 - 240Vrms，50-60Hz
激光波长	He-Ne Laser 632.8nm
速度量程① （可选）	50mm/s，100mm/s，500mm/s 1m/s，5m/s，10m/s
输出电压	±10V
频率范围	DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz （根据解调卡而定）
滤波设置	高通低通滤波设置
速度分辨率②	1um/s
位移分辨率	0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz
大线性误差	1.00%
机架（标准配置）	反射用机架，低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程25mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统。
光学参数	检测器尺寸：1/2 测量距离：9mm（使用10X物镜时）
观测装置	CMOS数码相机： 320万像素（USB2.0）