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日本爱发科ULVAC多级罗茨式干式真空泵RDA-281HA维修保养特性:•大排气量、小型尺寸
日本爱发科ULVAC多级罗茨式干式真空泵 RDA-281HA维修保养
特性:
• 大排气量、小型尺寸。
• 不会发生真空油的返流和油雾。
• 无摩擦部分、长寿命。
应用:
• 分析设备 • 气体回收系统 • 涂料设备 | • TMP 前级泵 • 氦渗漏探测器 • 半导体制造工艺 |
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