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昆山熙日机械设备有限公司
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日本爱发科ULVAC渦旋干式真空泵DIS-251维修保养特性：•双绕式涡旋泵，含1根轨道螺旋和2根固定螺旋
日本爱发科ULVAC渦旋干式真空泵 DIS-251维修保养
特性：
• 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
应用：
• 分析设备 • 气体回收系统 • 涂料设备 | • TMP 前级泵 • 氦渗漏探测器 • 半导体制造工艺 |
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