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EVCClass100洁净烘箱无尘烘箱的详细资料:无尘高温试验箱,洁净烘箱,无尘烤箱,百级无尘烘箱,无尘干燥箱,百级无尘烤箱,100级洁净烤箱Class100CleanOvens一、设备用途:Class100洁净烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤
无尘高温试验箱,洁净烘箱,无尘烤箱,百级无尘烘箱,无尘干燥箱,百级无尘烤箱,100级洁净烤箱
Class 100 Clean Ovens
洁净度100级的洁净热处理
HEPA高效过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。zui小限度控制风速距离。
M计装可编程控制
1模式20步骤,最多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。
简单操作的标准计装
标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止等可设定动作的程序运行。标准配置温度过升防止器。
设备型号 | 温度范围 | 内容积 | 其它参数 | 内尺寸 (W×D×Hmm) | 外尺寸 (W×D×Hmm) |
EVC150 | (RT+60)~+200℃ | 150L | 洁净度:100级 | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
EVC360 | (RT+60)~+200℃ | 360L | 洁净度:100级 | 600×600×1000 | 770×1025×1850 |
EVC640 | (RT+60)~+200℃ | 640L | 洁净度:100级 | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
EVCH150 | (RT+60)~+350℃ | 150L | 洁净度:100级 | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
EVCH360 | (RT+60)~+350℃ | 360L | 洁净度:100级 | 600×600×1000 | 770×1025×1850 |
EVCH640 | (RT+60)~+350℃ | 640L | 洁净度:100级 | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
注:无尘等级和尺寸可根据要求定制。
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