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日本进口yamamoto山本渡金晶圆电镀设备 A-52硅片电镀测试设备组

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更新时间：2023-09-19 07:46:10浏览次数：90次

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深圳市安川测量仪器有限公司

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产品简介

产品简介：适用于2至12英寸硅片的电镀设备。半导体和MEMS的精密电镀可以使用专用夹具进行。其结构是一边不断过滤一边溢流，从槽底产生温和的对流，有单侧溢流型和可进行高速搅拌的双面溢流型。使用桨式搅拌进行直接搅拌。它也可以用作生产设施。此外，已在日本和海外获得多项，还有多项正在申请中。*电脑单独出售板材它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs......

详细介绍

日本进口yamamoto山本渡金晶圆电镀设备 A-52硅片电镀测试设备组

本进口yamamoto山本渡金晶圆电镀设备 A-52硅片电镀测试设备组

适用于2至12英寸硅片的电镀设备。
半导体和MEMS的精密电镀可以使用专用夹具进行。其结构是一边不断过滤一边溢流，从槽底产生温和的对流，有单侧溢流型和可进行高速搅拌的双面溢流型。使用桨式搅拌进行直接搅拌。

它也可以用作生产设施。
此外，已在日本和海外获得多项，还有多项正在申请中。*电脑单独出售

板材

它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。

关于特殊订单生产

在标准设备的基础上，我们可以根据客户的样品定制夹具和双面电镀夹具的形状。我们还拥有阳极氧化夹具和阳极氧化夹具等制造设备的跟踪记录。治具类型有全密封型、非密封型、卧式等，欢迎随时与我们联系。　

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A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置WJ型（YPP电源用）

产品编号	产品名称	数量
A-52-ST□-P01A	硅片水箱（亚克力双层底型）	1
A-52-ST□-P02A	硅片用阴极盒（标准型）（*1）	1
A-52-ST□-P09A	硅片阳极支架（阳极背面凸起）（*2）	1
A-52-ST□-P04D	桨式搅拌器	1
B-90-A20-APFA05 / B-90-A40-APFWJ05	迷你迷你过滤器20APFA型（2～6英寸用）迷你迷你过滤器40APFWJ型（8英寸用）	1
A-63-M202 B-92-M10-P04A	气泵 M202 (AC100V) (2-4寸) 10L水族箱用气泵 (5-8寸)	1
A-52-P18	空气过滤器	1
A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A	晶圆水箱加热器 WJ2型（2英寸） 300W PFA涂层加热器（AC100V） 300W石英小型浸入式加热器 WJB型（5-6英寸） 500W石英加热器（8英寸）	2 1 3 3
–	温度传感器、加热器的塞子	1

(*1) 从定向平面型或切口型中选择。也有密封型和真空密封型。
(*2) 不溶性阳极也有隔膜型。
(*3) 英寸数填写在产品编号的□标记中。
(*) YPP 电源套件。电源、温度控制器和阳极板单独出售。请单独A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D 的电源。PC 单独出售。