FFU过滤单元通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。
FFU过滤单元规格型号及详细参数说明:
型号 LхWхH LхWхH LхWхH LхWхH
外形尺寸（mm） 575x575x350 875x575x350 1175x575x350 1225 x615x350
高效尺寸（mm） 570x570x69 870x570x69 1170x570x69 1220 x610x69
额定风量（m3/h） 500 800--900 1000--1100 1200--1300
高效过滤器 铝框无隔板， 效率：99.995%0.3μm～99.9999950.12um（MPPS）
初效过滤器 可选配铝框板式，效率：85%5μm（计重法）
风速（m/s） 0.35～0.6m/s可调
控制系统 无级调速
噪音dB（A） ≤50--55
箱体材质 钢板多层酸洗静电烤漆/优质不锈钢/铝板/镀铝锌板
风机 国产风机
风机功率 123W 123W 123W 175W
电源电压 AC，220V，50Hz
FFU送风单元具有特点
1、可再利用性。
从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
2、负压通风。
这是FFU的*特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
3、缩短建设周期。
使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
4、减少运行成本。
虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。
5、灵活性。
因为FFU过滤单元是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
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风机过滤器机组（FFU层流罩）是一种内配风机的吊顶用机组，用于乱流及层流洁净室内。风机过滤器机组是目前市场上其中一种zui安静、价格优良的机组，采用这种机组，可以为洁净室输送高质量的空气，而且空气流形好。可模块化连接使用，使得FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室，适用于半导体、电子、光学、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及、生物工业及其它对空气中污染有严格控制要求的地方。
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