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ASTRON®系列远程等离子体源基于NF3等含氟气体电离,产生活性气体,广泛地应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点
ASTRON®系列远程等离子体源基于NF3等含氟气体电离,产生活性气体,广泛地应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点。产品有:
•ASTRON®Paragon AX7700 (6升),新一代远程等离子体源
•ASTRON®i AX7670 (3升)
•ASTRON®ex AX7685 (6升)
•ASTRON®hf-s AX7645 (15升,分体式)
•ASTRON®hf AX7640 (15升)
•ASTRON®hf+ AX7635 (22升)
•ASTRON®G7 AX7667 (30升)
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