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ELIONIX电子束光刻系统ELS-HAYATE

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产品型号ELS-HAYATE

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更新时间：2024-04-30 08:38:32浏览次数：114次

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天津瑞利光电科技有限公司

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产品简介

产品介绍ELS-HAYATE能够在数小时内制造出完整的8英寸晶圆尺寸的压印模具

详细介绍

产品介绍

ELS-HAYATE能够在数小时内制造出完整的8英寸晶圆尺寸的压印模具。ELS-HAYATE非常适合需要高吞吐量和超细图案分辨率的大型制造写入场。

性能特点

可实现字段大小5mm的统一绘制
实现了业界的5毫米偏转。因为可以统一绘制的区域变大，因此它非常适合在意字段间连接误差的应用程序。此外，由于样品表面内的载物台移动次数也减少，高吞吐量的微细加工也能起到作用。
采用大电流电子光学系统
配备高电流电子光学系统，可以实现超出电子束光刻常识的高通量微制造。以前通过激光光刻或光刻产生的微米到毫米量级的图案，现在可以高质量曝光。
400MHz生产用高速扫描时钟
当在高电流下进行光刻时，须将光斑间距设置得较宽，以平衡小剂量时间和良好剂量。

技术参数