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NEOARKGHz振动观测系统MLD-101

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产品型号MLD-101

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厂商性质其他

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更新时间:2024-05-04 09:45:54浏览次数:30次

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产品简介

产品介绍基于激光的观察系统专为基于电介质/压电的高频器件(例如SAW滤波器(叉指换能器(IDT))和薄膜体声波谐振器(FBAR)的表面声波(SAW)和体声波(BAW)的可视化而设计

详细介绍

产品介绍

基于激光的观察系统专为基于电介质/压电的高频器件(例如 SAW 滤波器(叉指换能器 (IDT))和薄膜体声波谐振器 (FBAR) 的表面声波 (SAW) 和体声波 (BAW) 的可视化而设计。

性能特点
  • 适用于不同频率下物理声波传播的分析
  • 短时间广域观测
技术参数
  • 产地:日本
  • 振动检测方法:基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz)
  • 振动观测方法:用激光束探头进行台架控制扫描观测(用于平面外振动)
  • 观察光源:二极管激光器(波长:650nm,典型),发光二极管
  • 可用物镜:×20、×50、×100物镜
  • 观测频率:500MHz~6GHz(典型值)
  • 驱动信号输入范围*1:50MHz~6GHz(-120dBM~+15dBM)*2
  • 可分析面积:25mm×25mm
  • 可接受的工作量:8英寸晶圆
  • 样品台:电动X-Y台
  • 结构:主体/电气单元/信号发生器/锁定放大器/舞台驱动器/PC/软件
产品参数

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