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TKF超高纯度在线高流量气体过滤器HH-H系列

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更新时间:2023-08-19 18:24:06浏览次数:257次

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产品简介

TKF超高纯度在线高流量气体过滤器HH-H系列具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体,应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。

详细介绍

  • 品   名:在线高流量气体过滤器


    品   牌:  TKF


    阀体材质:316L不锈钢

     

    产品特征:

    1、超高纯度在线高流量气体过滤器;


    2、所有哈斯特洛结构;


    3、高温动态压力应用;


    4、紧凑的尺寸和可变的端部连接;


    5、宽范围流量从100到800 SLPM;


    6、具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体;


    7、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;


    8、5ra电抛光表面防止内部污染;


    9、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;


    10、100级制造、清洁及包装环境;


    11、99%氦泄漏试验。

     


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