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热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR

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产品型号NanoTR / PicoTR

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更新时间：2023-01-16 09:11:48浏览次数：1285次

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成都东立恒达科技有限公司

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产品简介

热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTRNano TR热反射法薄膜导热系数测量仪采用热反射法精确可靠地测定薄膜的热扩散系数，是目前市场上*精确的的薄膜导热测量方法，满足不同样品的测试需求。

详细介绍

热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。

由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。

该方法符合标准：
JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。

技术参数	NanoTR	PicoTR
温度范围	RT，RT … 300°C（选件）	RT，RT … 500°C（选件）
真空度	N/A	10^-6 mbar（选件）
测量模式	RF/FF	RF/FF
样品尺寸	10x10 ... 20x20 mm	10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度	RF：金属：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm	RF：金属：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm
基片厚度	< 1mm	< 1mm
热扩散温升时间	10ns ... 10µs	10ps ... 10ns
热扩散系数	0.01…1000 mm²/s	0.01…1000 mm²/s
测量精度	5%(RF), 10%(FF)	5%(RF), 10%(FF)
操作系统	Windows 7	Windows 7