如何进入无尘洁净室?
1、 任何进入无尘洁净室的人,必须*入无尘更衣室,穿上无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手套、无尘裤、无尘靴(如图①所示)。经过这套外形很“酷”的防尘装备可将人们身上已有的灰尘隔离在无尘洁净室之外,但这才是*步。
2、 接着就要进入风淋室。所谓风淋室是指一条“吹风的长廊”,不过在这条长廊中吹出来的强风是没有任何静电存在的离子风。这种离子风所具有的中和能力可以将人身上的正负电荷中和,而且依靠静电黏附在毛发、衣服上的灰尘也会自动脱落并粘在地板上的蓝色洗尘垫上(如图②所示)。
3、 走过风淋室后,就进入无尘洁净室了。如果无尘洁净室生产的产品要防静电,则还要经过“静电桥”*地消除身上的静电。若进入百级洁净室还重复2、3步骤动作。
什么是无尘概念?
按照惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非*没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表1所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
表1
A级B级C级
粒径≤0.5≤0.5≤0.5
个数≤3500≤10000≤18000
洁净室的动线规划
所谓[动线],是指人员、原料之入室路线,与人员与成品的出室路线。规划时,要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。